Манометрические преобразователи инверсно-магнетронного типа
Система электродов преобразователя состоит из анода, который выполнен в виде стержня и расположен на оси основного цилиндрического катода, закрытого с обоих торцов дисками, имеющими центральное отверстие со вставленными втулками, через которые проходит анод. Втулки соединены с мигательным катодом, расположенным снаружи основного. Основной катод заземлен через измерительный прибор, вспомогательный катод заземлен непосредственно.
Система электродов помещена в магнитное поле, направленное вдоль оси электродной системы. Все типы сверхвысоковакуумных манометрических преобразователей при измерении низких давлений дают ошибки, которые возникают в результате откачивающего действия электродной системы преобразователя и десорбции нейтральных молекул.
Относительная ошибка манометрических преобразователей за счет откачивающего действия не превышает 2—3%, что позволяет в большинстве практических измерений ею пренебречь. Ошибка за счет потоков десорбции с детален прибора возрастает с уменьшением давления.
Для исключения потоков десорбции в манометрах с накаленным катодом рекомендуется обезгаживание электронной бомбардировкой в течение 5 ч и более, а для манометров с холодным катодом в течение 1 ч. Возможность проведения электронной бомбардировки обеспечивается схемами вакуумметров.
В манометрических преобразователях с накаленным катодом к ошибкам приводит и ток ионной десорбции, т. е. ток, возникающий при ионизации молекул газа, сорбированных на поверхности анода.
Практика показывает, что требования, предъявляемые к точности измерения давления в, например, электропечах, не очень жесткие, и при проведении большинства технологических процессов достаточно знать лишь порядок значения давления, поэтому погрешность вышеописанных приборов не может служить препятствием для их широкого применения.
Вернуться назад