Сверхвысоковакуумные насосы

Технологические процессы и процессы получения вакуума в электропечах иногда длятся десятки часов, поэтому откачное оборудование должно обладать высокой надежностью при эксплуатации. Откачное оборудование усложняется также в связи с необходимостью автоматизации процессов откачки так, как только с помощью автоматического управления можно достаточно точно осуществить заданный технологический процесс нагревания в сверхвысоком вакууме.

Для откачки электропечей применяются различные по принципу действия и производительности насосы, в том числе диффузионные пароструйные, магнитные электроразрядные, гетер-ионные, адсорбционные (цеолнтовые), турбомолекулярные.

При выборе тина насоса определяющими его характеристиками являются быстрота откачки воздуха и других газов, предельное остаточное давление, давление запуска насоса в работу. Необходимо учитывать, что по мере разогревания газовые осадки и элементов печи увеличивается и достигает максимального при выходе на рабочую температуру. Это приводит к снижению вакуума.

При неправильном выборе насоса и способа откачки может наступить такой момент, когда давление в печи превысит наибольшее давление запуска насоса, что приведет к прекращению его работы или даже к выходу из строя.

Поэтому характеристика насоса должна обеспечивать достаточную быстроту откачки в широком диапазоне давлений. Если такой насос не удается подобрать, то целесообразно использовать дополнительный насос, который будет включаться в работу в момент наибольшего газовыделения.

Правильный выбор количества и типов насосов является одним из главных факторов, обеспечивающих нормальную работу печи.